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多晶硅石墨底座處理

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石墨上多晶硅薄膜的制備及擇優(yōu)取向的調控百度學術施輝偉,陳諾夫,黃添懋-《微納電子技術》-2010摘 要: 利用磁控濺射在石墨襯底上制備了非晶硅薄膜,并使用快速熱退火對薄膜進行了晶化處理。分析表明,直接濺射沉積在石墨襯底上的硅薄膜經過快速熱退火后具有高度的(.. 碳石墨材料的特性及其在單晶硅和多晶硅工業(yè)上的應用2014年10月31日-本報告,是在圍繞半導體、光伏產業(yè)用(即電子工程用)石墨制品的品種、生產制造過程、產品性能、生產廠家、具體應用領域情況、市場規(guī)模及發(fā)展趨勢等方面

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石墨提取加工技術 石墨烯復合材料生產工藝 石墨設備裝置結構(三)2012年5月15日-1291 .3 用于多晶硅鑄錠爐的石墨烯- 21297 .4 石墨粉末生產和處理的方法 .8 一種多晶硅氫化爐

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